Chrome Mask

Chrome Mask

반도체 직접회로 구조의 패턴 형상을 크롬(Chrome : Cr+3)이 도포된 석영유리(Quartz) 또는 소다라임(Soda-Lime) 등에 형성한 것으로 가시광선, 자외선, X선 등을 이용한 노광 장비에 사용되며 레지스트의 미세한 상을 표현하는 능력, 일반적으로 라인 앤 스페이스 상(Line and Space Image)을 형성할 수 있는 최소의 선 또는 공간의 폭을 나타내는 능력이 우수하다.

Chrome Mask Specification

Contents Specification
Level 1 2 3 4 5
Address Grid Plot Pitch 0.012㎛ 0.0125㎛ 0.025㎛ 0.05㎛ 0.1㎛
CD (Critical Dimension) 1.2㎛ 1.5㎛ 3.0㎛ 5.0㎛ 10.0㎛
CD Tolerance ± 0.10㎛ ± 0.15㎛ ± 0.30㎛ ± 0.50㎛ ± 1.00㎛
Substrate Only Quartz Base Quartz or Soda-Lime Base
Material Size 5 X 5 Inch ~ 2,100 X 2,500 ㎜
Thickness 1.5T / 2.3T / 3.0T / 4.8T / 5.0T / 10T / 13T

Chrome Mask Line Up

㈜네프코는 국내 최초, 최대 크기 2,100X2,500mm PHOTO MASK를 제작 합니다!

구분 (Size)

Thickness [mm]

Substrate

Special Option

분류 [mm] [in] 1.5 2.3 3.0 4.8 6.35 7.8 Soda-Lime Quartz Tempax Anti-ESD Pellicle
Small Mask 127.0 x 127.0 5 x 5            
152.4 x 152.4 6 x 6            
177.8 x 177.8 7 x 7            
Large Mask 203.2 x 203.2 8 x 8                  
228.6 x 228.6 9 x 9              
350 x 350 -                
355.6 x 355.6 14 x 14            
355.6 x 431.8 14 x 17                  
406.4 x 533.4 16 x 21                  
508.0 x 609.6 20 x 24              
609.6 x 609.6 24 x 24                
609.6 x 711.2 24 x 28            
700.0 x 800.0 -              
812.8 x 1092.2 32 x 43              
914.4 x 1498.6 36 x 59                  
1,100 x 1,260 -                  
1,220 x 1,400 -                  
2,100 x 2,500 -                  

기타 특수 Size 및 Thickness는 별도 문의 바랍니다.

빛의 파장과 광원

포토마스크는 원재료인 Blank Mask에 패턴을 새겨 넣어 만들어진다.
Blank Mask 위에는 감광을 위한 PR(Photo Resist)이 박막(5,000 ~ 10,000Å)으로 도포 되어 있다.
PR의 Type은 Positive와 Negative Type이 있으며 포토마스크에는 주로 Positive Type의 PR이 사용 되며 , Positive PR은 노광 시 빛을 받으면 분자들이 반응하여 이격 되는 현상이 발생하고 현상과정에서 빛을 받은 부분의 PR이 제거 된다.

Source of Light Wavelength
EUV 10~100 ㎚
ARF 193 ㎚
KRF 248 ㎚
I-LINE 365 ㎚
H-LINE 405 ㎚
G-LINE 436 ㎚
about-image
Color Frequency Wavelength
Violet 668 ~ 789 THz 380 ~ 450 ㎚
Blue 631 ~ 668 THz 450 ~ 475 ㎚
Cyan 606 ~ 630 THz 476 ~ 495 ㎚
Green 526 ~ 606 THz 495 ~ 570 ㎚
Yellow 508 ~ 526 THz 570 ~ 590 ㎚
Orange 484 ~ 508 THz 590 ~ 620 ㎚
Red 400 ~ 484 THz 620 ~ 750 ㎚

Quartz & Soda-Lime의 물성

Material SiO2 Al2O3 R2O3 Na2O K2O RO Heat Properties
Quartz 100 4~5X10-7 / ℃
Soda-Lime 73 1 15 1 10 81~94X10-7 / ℃
Chrome 70X10-7 / ℃

Quartz & Soda-Lime 열팽창 계수

Standard

Quartz/Soda-Lime 사용 시 500㎜ 기준으로 온도 1℃ 변화 시 거리 값의 변화를 의미

Quartz

Quartz의 경우 온도 1℃ 변화 시 500㎜ 기준에서 0.25㎛ 변화 발생

Soda-Lime

Soda-Lime의 경우 온도 1℃ 변화 시 500㎜ 기준에서 4.05㎛ 변화 발생