Emulsion Mask
Emulsion Mask
할로겐화 은이 도포된 소다라임(Soda-Lime)을 사용하여 패턴을 형성한 것으로, 노광 시 빛을 받은 부분이 현상액에 용해되지 않고 패턴으로 형성되는 Negative Type이며 20㎛ 이상의 라인 앤 스페이스 상(Line and Space Image)을 형성할 수 있는 선 또는 공간의 폭을 나타내는 능력이 우수하다.
Emulsion Mask Specification
| Contents | Specification | ||
|---|---|---|---|
| Level | 1 | 2 | |
| Address Grid Plot Pitch | 0.5㎛ | 1.25㎛ | |
| CD (Critical Dimension) | 20㎛ | 30㎛ | |
| CD Tolerance | ± 2.00㎛ | ± 3.00㎛ | |
| Substrate | Only Soda-Lime Base | ||
| Material Size | 20 X 24 Inch ~ 36 X 59 Inch | ||
| Thickness | 4.8T | ||
Emulsion Mask의 일반적인 구조
Protection Layer (두께 : 0.3 ~ 1㎛)
Emulsion Layer 위에 놓이게 되어 외부의 압력에 의한 손상이나, 긁힘으로부터 보호
Emulsion Layer (두께 : 5 ~ 7㎛)
매우 작은 할로겐화은 그레인 (염화은(AgCl), 브롬화은(AgBr), 요오드화은(Agl)) 등이 젤라틴 바인더에 분산되어 있음.
Bare Glass Layer (두께 : 2.8 ~ 5㎜)
Soda Lime으로만 구성
Back Coating Layer (두께 : 0.2 ~ 1㎛)
노광 공정에서 후면의 분광을 막기 위해 사용
젤라틴의 정의
What is the gelatin?
젤라틴은 은염화물 입자들에 대해서 binding agent와 지지하는 매개체(suspending medium)역할을 한다.
젤라틴은 결함 조직의 주성분으로, 연골, 뼈, 피부 등에 있는 교원질(Collagen)섬유이다.
Why does it use as binder?
Homogenous Mixture
Silver nitrate와 sodium bromide가 반응하여 생기는 AgBr이 미세하게, 균일하게 분산되고 뭉치지 않도록 하는 지지되는 특성을 부여하는 매체
Strong Adhesion
온도를 낮추면 젤과 같은 상태로 기판에 강하게 부착
High Flexibility
고 유연성, 구부림 특성을 요구하는 기판에 탁월
Optically Transparent
광학적 투명
Porosity & Permeability
젤라틴은 구조와 강도의 손상없이 삼투성(스며드는 성질)이 좋아서 공정 약액이 은염화물 크리스탈에 고침투성 젤라틴내의 일부 성분들은 silver bromide와 작용을 향상시키고 흐림방지재(anti-foggant)로서의 기능 향상