Pellicle
Pellicle
레티클(Reticle)표면을 대기중 분자나 다른 형태의 오염으로 부터 보호해주는 박막으로 Particle로 인한 오염을 보호하고 이물이 묻어도 초점을 벗어나게하여 웨이퍼 회로 패턴에 영향을 주지 않는다.
막은 양극 산화된 알루미늄 프레임에 부착된 후 다시 레티클 위에 단단히 부착 되어진다.
Pellicle의 일반적인 구조
Pellicle 막의 비교
| Material | Perfluoro polymer | Cellulose |
|---|---|---|
| 적용 노광 파장대 | KrF (193nm) | i-, g-, h- line (365nm~436nm) |
| 투과율 | ≥99% | ≥99% |
| Uniformity of TR | ≤0.2% | ≤0.5% |
| 적산 노광 에너지 | Avg. 500,000J/cm2 | Avg. ≥400,000J/cm2 |
| shot 기준 노광 횟수 (400mJ/cm2가정) |
500,000,000mj/cm2÷ 400mj/cm2 = 1,250,000shots |
400,000,000mj/cm2÷ 400mj/cm2 = 1,000,000shots |