(주)네프코

마스크(Mask) 표면에 박막 코팅을 하여 대기중 분자나 다른 형태의 오염으로 부터 마스크를 보호해 주는 역할을 한다.
Wiper로 표면의 오염원 제거가 용이하여 생산성 향상 및 제품 수율 개선에 매우 우수한 장점을 가지고 있다.

Glass surface energy = 310 mJ/m²

Perfluoro compound surface energy = 18 mJ/m²

자사의 방오코팅은 Mask 표면에 안정적으로 Perfluoro compound로 구성된 층을 형성시켜 일반 Glass mask보다 약 20배 정도 표면에너지를 낮춰 줌으로써 Glass mask의 방오 기능을 부여하는 기술이다.

유해 약품 무사용에 따른 작업안전성 확보

마스크 세정의 취급성 용이화(Exposure M/C sit-on cleaning using only dried wiper)

무약품 기반 친환경 세정 프로세스

포토마스크의 세정 관리 공정 시간 단축 효과에 따른 생산성 향상

솔벤트, 산, 알칼리와 같은 세정 약품 사용량 불필요

잠정적인 설비 투자 부담 경감 : 세정 설비 및 LDI등

노광 수율 개선
(포토레지스트 및 유기성 이물 전착, 입자성 파티클, 헤이즈등 이물 오염 방지 및 오염된 기판의 효과적 세정 관리 기능 부여)

구분	검사 수율	이물 검출량
방오코팅 마스크 적용 공정	99.8	1.2
일반 마스크 적용 공정	98.9	2.3

방오코팅 마스크 적용 시 양산 수율 개선 및 효과 기대.

기능성제품