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Emulsion 마스크(Mask) 표면에 코팅을 하여 Emulsion층 및 대기중 분자나 다른 형태의 오염으로 부터 마스크를 보호해 주는 역할을 한다.
코팅된 Emulsion Mask는 표면의 방오성을 향상시켜 세정 능력 및 제품 수율을 개선하는 장점을 가지고 있다.

◎ 매우우수 ○ 우수 △ 보통

구분		포토마스크 종류					비고
		Chrome	코팅 적용 Emulsion Mask		코팅 미 적용	Film
		Chrome	NEO Mask 코팅	액상 하드 코팅	코팅 미 적용	Film
경도		5H	6B	2.5H	B~2B	B~2B	경도 시험 @ CT-PC1 (KS M ISO 15184, Class 9H~6B)
투과율		85%~87%	79~84%	81~86%	85~88%	65~68%	Spectrophotometer @ 365-405nm (KS B ISO 9211-3)
접착성		Class 0	Class 0	Class 0	Class 0	Class 0	3M tape, 1mm cross cut (KS M ISO 2409, Class 0~5)
소수성		42° (on Cr) 36.9° (on Glass)	95.26°	83.34°	57.5°	33°~43°	접촉각 측정 (KS L 2110)
대전방지		반영구적	영구적	영구적	영구적	영구적	정전기 방전 시험 (KS C IEC 61340-5-1)
내화학성	IPA	◎	◎	◎	△	△
	아세톤	◎	◎	◎	△	△
	MEK	◎	◎	◎	△	△
	산	◎	◎	◎	△	△	Dipping test @ 96% H2SO4, 80℃, 60s
	알칼리	◎	◎	△	△	△	Dipping test @ 5% KOH, 80℃, 1hr
세정용이성		○	◎	◎	△	△	내화학성, 발수성과 연관
위치 정밀도		○ (Soda-Lime)	○ (Soda-Lime)	○ (Soda-Lime)	○ (Soda-Lime)	△ (Polyester)	노광 설비 정밀도와 기판의 열팽창성에 의존적
수명		◎	○	◎	○	△
재작업		X	○	X	X	X	NEO Mask 코팅 Re-Coating 용이
납기		○	○	○	○	◎
가격		△	○	○	○	◎
특장점		· 미세 Pattern 구현 우수 · Pattern Shape 우수	· 방오성, 발수성 우수 · 세정용이성 매우 우수 · 막면 보호 우수 · Re-Coating 가능	· 방오성, 발수성 우수 · 세정용이성 우수(알칼리계 취약) · 막면 보호 우수 · Re-Coating 불가	-	-	-

기능성제품