특허
접촉식 리소그래피 공정용 탈착 용이성이 우수한 포토마스크 및 그 제조 방법
세정 용이성 및 내마모성이 우수한 친환경 포토마스크및 이의 제조방법
고투과 포토마스크 및 이의 제조방법
향상된 표면경도와 방오 기능성이 부여된 에멀젼 포토마스크의 형성방법
내화학성 및 고투과율을 가지는 대전방지 포토마스크 및 그 제조방법
방오코팅 포토마스크의 패턴 유실 결함 수리 방법
대전방지 및 방오 특성을 갖는 다기능성
세정 용이성이 우수한 친환경 포토마스크 제조방법
정전기 방전에 의한 패턴 손상 방지용 포토마스크
고출력 레이저
다이렉트 칩온글라스(COG) 제조방법